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FBA6432_5軸大氣水平多關節(jié)型單臂雙手指晶圓搬運機器人

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FBA6432_5軸大氣水平多關節(jié)型單臂雙手指晶圓搬運機器人

FBA6432D_5軸大氣水平多關節(jié)型雙臂雙手指晶圓搬運機器人,自主研發(fā)安全可控,可全面替代進口品牌。

產品描述


5軸大氣水平多關節(jié)型單臂雙手指晶圓搬運機器人
FBA6432_FBA系列半導體機器人
 
  • 采用閉環(huán)伺服控制
  • 可根據(jù)設備布局定制臂長和Z軸行程
  • 可選配免電池絕對式編碼器
  • 可選末端執(zhí)行器類型:真空吸附式、邊緣夾持式

臂長

640mm

額定/最大負載

4kg

搬運物

≤Φ300mm晶圓

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關鍵詞:

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規(guī)格參數(shù)

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智慧電梯:400-820-7921
變頻驅動:400-821-0325

運動控制:400-821-0325

多關節(jié)機器人:400-920-0275
SCARA機器人:400-168-2718
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