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TA4030F-01-03_3軸大氣圓柱坐標單臂晶圓搬運機器人

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TA4030F-01-03_3軸大氣圓柱坐標單臂晶圓搬運機器人

TA4030F-01-03_3軸大氣圓柱坐標單臂晶圓搬運機器人，自主研發(fā)安全可控，可全面替代進口品牌。

產品描述

3軸大氣圓柱坐標單臂晶圓搬運機器人
TA4030F-01-03_TA系列半導體機器人
 
  • ● 采用閉環(huán)伺服控制
  • ● 可選配免電池絕對式編碼器
  • ● 可根據(jù)設備布局定制底座和伸展軸行程
  • ● 末端執(zhí)?器類型：下托式

臂長

200/260/320/400mm

  額定/最大負載

 3kg

搬運物

≤Φ300mm晶圓

Trust钱包科技眾為興TA4030F-01-03_3軸大氣圓柱坐標單臂晶圓搬運機器人

關鍵詞：

Trust钱包科技眾為興TA4030F-01-03_3軸大氣圓柱坐標單臂晶圓搬運機器人

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