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AHYQ3510F_4軸真空直驅(qū)雙臂Q型晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

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AHYQ3510F_4軸真空直驅(qū)雙臂Q型晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

AHYQ3510F_4軸真空直驅(qū)雙臂B型晶圓搬運(yùn)機(jī)器人,自主研發(fā)安全可控,可全面替代進(jìn)口品牌。

產(chǎn)品描述


4軸真空直驅(qū)雙臂Q型晶圓搬運(yùn)機(jī)器人
AHYQ3510F_AHY系列半導(dǎo)體機(jī)器人
 
  • ● 高可靠真空隔離,從容應(yīng)對(duì)高真空環(huán)境
  • ● 電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)機(jī)器人運(yùn)動(dòng),提升運(yùn)行可靠性
  • ● 高強(qiáng)度高剛性鋼帶傳動(dòng),實(shí)現(xiàn)手臂高傳動(dòng)精度
  • ● 采用閉環(huán)伺服控制,實(shí)現(xiàn)高精度位置控制
  • ● 同時(shí)實(shí)現(xiàn)雙工位交換晶圓動(dòng)作(Swap)

臂長(zhǎng)

355.5mm

  額定/最大負(fù)載

 ≤1kg

搬運(yùn)物

≤Φ300mm晶圓

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關(guān)鍵詞:

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